如何降低真空系統(tǒng)的泄漏率？

真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是真空系統(tǒng)密封性和漏氣率的關(guān)鍵。真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是否合理，將直接影響系統(tǒng)的密封性和漏風(fēng)率。

1、盡可能避免小曲率半徑的死角，在打、打磨、清洗和清理時(shí)要平穩(wěn)過(guò)渡檢查剎車。

2.連接到真空室的管道，如抽空管道和供氣管道，應(yīng)采用圓弧過(guò)渡，使氣路暢通，但應(yīng)考慮清洗的方便性。

3.精心設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，做到氣路暢通，防止氣路堵塞。

4.打磨和拋光真空系統(tǒng)的內(nèi)表面。表面越亮，氣體吸附的可能性越小，越容易獲得真空。

5.小化真空室的體積，縮短管道系統(tǒng)。

密封形式的選擇

密封形式可根據(jù)要求的真空度和實(shí)際工作需要選擇。

密封部分水冷后，其溫度在80左右，部分部位溫度可達(dá)100以上)。因此，應(yīng)選擇理想的密封圈材料。

用于真空密封的橡膠材料不僅要表面光滑、無(wú)劃痕和裂紋，而且要有低的透氣性和出氣率，良好的耐熱性和耐油性，以及一定的強(qiáng)度、硬度和彈性。

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